ASML新款EUV光刻机创记录出货量和营收都刷新纪录

来源：快科技时间：2021-10-21 16:49:19

今日晚间，ASML发布2021年第三季度财报，EUV光刻机的出货量和营收都刷新纪录。

最新款的NXE:3600D EUV 光刻系统在客户的生产线上创下了每小时曝光160片晶圆的记录。

DUV (深紫外光) 光刻业务 :15年前 (2006年)，ASML第一台支持芯片量产的浸润式光刻系统上市。到本季，达成出货1000台ArF浸润式光刻系统的里程碑。

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